真空泵的分類(lèi)
01
按性能特點(diǎn)和用途分類(lèi)
（1）低真空泵
泵的極限壓力高于102Pa的真空泵屬于低真空泵。常見(jiàn)的低真空泵有往復(fù)式真空泵、旋轉(zhuǎn)式真空泵、液環(huán)式真空泵、噴射式真空泵以及吸附式真空泵。
?。?）中真空泵
極限壓力在102~-10-1Pa的真空泵屬于中真空泵。常見(jiàn)的有羅茨真空泵、多級(jí)噴射式真空泵、多級(jí)旋轉(zhuǎn)機(jī)械真空泵以及高速旋轉(zhuǎn)式機(jī)械真空泵等。
?。?）高真空泵
極限壓力在10-1~10-5Pa的真空泵屬于高真空泵。常見(jiàn)的高真空泵有各種擴(kuò)散泵及分子泵等。
?。?）超高真空泵
極限壓力低于10-5Pa的真空泵屬于超高真空泵。超高真空泵主要有各種離子泵、低溫泵等。
02
按工作原理和結(jié)構(gòu)特點(diǎn)分類(lèi)
（1）機(jī)械式容積真空泵
靠機(jī)械運(yùn)動(dòng)使泵腔工作容積周期變化來(lái)實(shí)現(xiàn)抽氣作用的是機(jī)核式容積真空泵。屬于這類(lèi)泵的有往復(fù)式真空泵、旋轉(zhuǎn)式機(jī)械泵(包括旋片式、螺桿式、羅茨式、液環(huán)式等)。這類(lèi)泵中除機(jī)械增壓泵外，一般均可單獨(dú)使用。
?。?）射流式真空泵
沒(méi)有機(jī)械運(yùn)動(dòng)部件,主要靠通過(guò)噴嘴的高速射流來(lái)抽真空的是射流式真空泵。屬于這類(lèi)泵的有水蒸氣噴射泵、空氣噴射泵、水噴射泵以及各種擴(kuò)散泵等。這類(lèi)泵結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,工作可靠,壽命長(zhǎng),易于維修,應(yīng)用比較普遍。
03
各類(lèi)真空泵的工作壓力范圍及特征
PART 2/真空泵的選擇
01
依據(jù)和條件
（1）系統(tǒng)對(duì)真空度的要求
根據(jù)系統(tǒng)對(duì)真空度的要求，選擇相應(yīng)極限真空的泵。一般要求泵的極限真空比系統(tǒng)要求的極限真空高0.5~1個(gè)數(shù)量級(jí)。
?。?）系統(tǒng)正常工作時(shí)的壓力范圍
要求泵正常工作的壓力范圍必須滿足系統(tǒng)所要求的工作壓力。
（3）被抽氣體種類(lèi)、成分、雜質(zhì)情況及系統(tǒng)工作時(shí)對(duì)污染的限制要求
被抽氣體性質(zhì)及對(duì)污染的要求是選擇不同特性真空泵的一個(gè)重要條件。它不但與工作時(shí)泵的性能有關(guān)，而且直接與泵的工作壽命及檢修維護(hù)情況有關(guān)，特別是在化工生產(chǎn)中，它往往是正確選泵的一個(gè)關(guān)鍵因素。
?。?）系統(tǒng)被抽氣量或體積流量
它是決定選擇某一類(lèi)型真空泵的主要依據(jù)。
02
真空泵的選擇及抽速計(jì)算
（1）計(jì)算真空泵的有效抽速S (L/s)。
根據(jù)真空系統(tǒng)要求的工作壓力pg、真空系統(tǒng)的總氣體量Q，計(jì)算泵的有效抽速
S＝Q/pg
式中，Q為真空系統(tǒng)的總氣體量，Pa. L/s,包括真空系統(tǒng)工作過(guò)程中產(chǎn)生的氣體量、真空系統(tǒng)及真空元件的放氣量和真空系統(tǒng)的總漏氣量。
通常將按此式計(jì)算出的有效抽速S增大20%~30%或更大作為主泵的名義抽速。
?。?）確定真空泵的抽速。
根據(jù)有效抽速S以及泵與真空室之間的連接管道的流導(dǎo)U確定主泵的抽速Sp。由流導(dǎo)串聯(lián)公式有
1/S＝1/Sp +1/U
（3）根據(jù)被抽氣體種類(lèi)、成分、溫度以及氣體含灰塵雜質(zhì)情況選真空泵 。
?。?）根據(jù)真空室對(duì)油污染要求的不同,來(lái)選擇有油、無(wú)油、半無(wú)油、干式、濕式真空泵。干式真空泵適合于要求絕對(duì)無(wú)油或工作液、或?qū)ぷ饕簝?chǔ)存和處理費(fèi)用比較關(guān)切等場(chǎng)合。
（5）根據(jù)投資及日常維護(hù)運(yùn)轉(zhuǎn)的經(jīng)濟(jì)指標(biāo)來(lái)選擇。
03
前級(jí)泵的配置及抽速確定
主真空泵選定之后,如何配置前級(jí)泵，需遵守的原則是：
① 求前級(jí)泵造成主真空泵工作所需的預(yù)真空條件；
?、?抽走主真空泵產(chǎn)生的最大氣體量；
?、?必須滿足主真空泵進(jìn)氣口能工作的最大壓力時(shí)所需的預(yù)抽時(shí)間要求。
不同的主真空泵，其前級(jí)泵配置各異，分述如下。
（1）蒸汽流泵前級(jí)配置
此類(lèi)泵包括油擴(kuò)散泵、油擴(kuò)散噴射泵以及增擴(kuò)泵等。在主泵允許的最大排氣口壓力下，前級(jí)泵需將主泵產(chǎn)生的最大氣體量及時(shí)抽走，即前級(jí)泵的有效抽速必須滿足：
Sq> pg .S/ pn或Qmax /pn
式中,Sq——前級(jí)泵的有效抽速，L/s，和選擇高真空泵一樣，先由Sq來(lái)確定前級(jí)泵的抽速，然后再根據(jù)該抽速選定泵型；
pn ——主泵前級(jí)的臨界前級(jí)壓力，Pa;
Qmax ——所能排出的最大氣體量，Pa .L/s;
pg ——主泵允許的最高工作壓力，Pa;
S——主泵工作在pg時(shí)的有效抽速，L/s。
在選擇前級(jí)泵時(shí)，應(yīng)該注意機(jī)械泵的抽速是在大氣壓力下測(cè)得的，但正常使用的泵都是在低于大氣壓的條件下運(yùn)轉(zhuǎn)，使泵的抽速下降了，因而我們必須根據(jù)抽速曲線來(lái)選擇泵。若沒(méi)有抽速曲線，可參考經(jīng)驗(yàn)公式
Sp=(1.5～3) S’p
式中，Sp——實(shí)際選用的前級(jí)泵的抽速；
S’p——計(jì)算要求的前級(jí)泵抽速。
?。?）羅茨泵配置油封機(jī)械泵
羅茨泵前級(jí)配置油封機(jī)械泵時(shí),前級(jí)泵的抽速由經(jīng)驗(yàn)公式確定，即
Sp＝（1/3~1/8）SL
式中，Sp——前級(jí)泵的抽速，L/s;
SL——羅茨泵的抽速，L/s。
式中，系數(shù)選擇，通常抽速大的羅獲泵取小值，抽速小的選大值。
?。?）羅茨泵配置水環(huán)泵為前級(jí)
羅茨泵~水環(huán)泵機(jī)組，水環(huán)泵抽速選擇根據(jù)經(jīng)驗(yàn)確定，即
Ss＝（1/3 ~1/5）SL
式中，Ss——前級(jí)泵的抽速，L/s;
SL——羅茨泵的抽速，L/s。
（4）羅茨泵串聯(lián)機(jī)組
用于較高真空度的羅茨泵不能直接排大氣，因此串聯(lián)二級(jí)的羅茨泵仍需要一個(gè)機(jī)械泵或水環(huán)泵后級(jí)。
羅茨泵串聯(lián)機(jī)組，有兩種配置方式，其一是羅茨泵—羅茨泵—機(jī)械泵；其二是羅茨泵—羅茨泵—水環(huán)泵。兩種方式均是以一羅茨泵為主泵，而另一羅茨泵為前級(jí)，兩羅茨泵抽速關(guān)系由經(jīng)驗(yàn)確定，即
SjL＝（1/2 ~1/4）SL
式中，SjL——前級(jí)羅茨泵的抽速，L/s;
SL——羅茨泵的抽速，L/s。
?。?）渦輪分子泵前級(jí)配置
渦輪分子泵所配置的前級(jí)泵抽速，應(yīng)滿足
Sp> Qmax/ pj
式中, Sp——前級(jí)泵的抽速，L/s;
pj——渦輪分子泵前級(jí)壓力，通常為2Pa;
Qmax——最大流量，Pa. L/s，渦輪分子泵平穩(wěn)抽速范圍為10-1~10-7 Pa。故最大流量Qmax值應(yīng)等于10-1Pa下的抽速與該壓力之積。
